在電鏡電極真空系統(tǒng)中，需要經(jīng)常檢查機(jī)械旋轉(zhuǎn)泵和油擴(kuò)散泵的油面，一旦發(fā)現(xiàn)油面下降應(yīng)及時加油。旋轉(zhuǎn)泵若缺油不僅會磨壞軸套上的油封圈，而且對旋片端頭和內(nèi)腔壁也可能會造成*性的損傷，使極限真空度下降。用真空計檢查真空度是必要 的，但是隨著真空系統(tǒng)的自動化，有的電鏡為了降低成本，把某些真空計也省略掉 了。為了提高真空系統(tǒng)的可靠性，延長各部件的使用壽命，對以下各點多加留意，以便能及時發(fā)現(xiàn)異常情況，隨時做好維護(hù)和保養(yǎng)的措施。
(1) 電鏡電極在正常的偏置電壓和發(fā)射電流下工作，若燈絲的壽命變得越來越短，這很 可能是真空度已變差，改善的辦法是檢查各部件的運行情況，采取有針對性的措施 進(jìn)行解決，如檢查真空系統(tǒng)的連接部位是否松動？查明原因，有的放矢，盡量提高電鏡真空系統(tǒng)的真空度。
(2) 電鏡電極若電子槍、襯管、光欄和樣品倉等部位的污染加快、加重，則意味著冷卻循環(huán)水的冷卻效果變差，有可能是冷卻水的壓力下降、水溫上升或管道內(nèi)水垢增厚，這些都會導(dǎo)致制冷效果不良。此時要采取相應(yīng)的解決辦法，如調(diào)高循環(huán)水的壓力或調(diào)低水溫、排除循環(huán)水通道中的堵塞滅清斷卻管道中的水鮮相應(yīng)措施。
(3) 電鏡電極及時排出空壓機(jī)巾隨水，那不同實驗室環(huán)境難的大小，以及用氣量多少的不同，—般在南方地區(qū)春季約4?5周、夏季約6?7周、秋、冬季約8?9周排水一次。